Впервые исследованы структура и трибомеханические свойства наноструктурированных тонких пленок TiZrSiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления как функция концентрации азота. Покрытия наносились путем распыления мишеней двух разных составов Ti0,56Zr0,36Si0,08 и Ti0,36Zr0,56Si0,08 % ат. Исследованы три типа нано- композитных покрытий TiZrSiN, сформированных в условиях недостатка, стехиометрических концентраций и избыт- ка азота в покрытиях. Структурные особенности и состав покрытий анализировались с использованием методик про- свечивающей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, рентгено- дифракционного анализа и резерфордовского обратного рассеяния. Трибомеханические свойства изучались посредст- вом индентации с применением методики Оливера и Фарра и скретч-тестов. Полученные результаты продемонстри- ровали тесную связь трибомеханических свойств покрытий TiZrSiN с их структурными модификациями, индуциро- ванными различным содержанием азота в покрытиях. Таким образом, в зависимости от состава покрытия и содержа- ния в них азота, нанесенные пленки демонстрируют твердость в диапазоне от 16 до 32 ГПа. В ходе обсуждения ре- зультатов сделаны предположения, объясняющие влияние концентрации азота на структуру и трибомеханические свойства нанесенных покрытий.