Представлен анализ рельефа поверхности проводящих контактов на основе ITO, структурированных одностенными углеродными нанотрубками. Осаждение пленок ITO и углеродных нанотрубок проводилось лазерно-ориентированным методом с использованием CO2-лазера. Оптическая схема была согласована с управляющей электрической сеткой, напряженность поля варьировалась в диапазоне 100…600 В/см. Для диагностики поверхности последовательно использовались атомно-силовая микроскопия в контактном режиме и измерение краевого угла смачивания методом висячей капли. Шероховатость чистого ITO составила порядка 1,8 нм, в то время как при лазерно-вакуумном осаждении углеродных нанотрубок шероховатость варьировалась от 6,4 до 22,1 нм с ростом электрического поля в процессе напыления. Рассматривалась связь шероховатости и площади поверхности покрытий с краевым углом смачивания. Показан рост угла смачивания от 101,8° в случае чистого ITO до 115,0…128,6° при осаждении углеродных нанотрубок. Полученные результаты свидетельствуют об улучшении стойкости ITO-покрытий к влаге при осаждении углеродных нанотрубок, что позволяет расширить их условия эксплуатации и область применения в оптической электронике, лазерной и дисплейной технике.