2022-3 Journal of Advanced Materials and Technologies Journal of Advanced Materials and Technologies 2782-2206 2782-2192 ФГБОУ ВО «ТГГУ» 10.17277/jamt.2022.03.pp.192-200 271 Version of Record О размерной зависимости скорости роста нитевидных нанокристаллов полупроводников Nebol’sin V. Swaikat N. Yuryev V. Vorob’ev A. 2022 3 квартал 2022 года 3 © 2025 Journal of Advanced Materials and Technologies 2022 V. Nebol’sin, N. Swaikat, V. Yuryev, A. Vorob’ev

Рассмотрены результаты исследований кинетики роста нитевидных нанокристаллов полупроводников. Показано, что в современных исследованиях недостаточно изучены физические механизмы, управляющие скоростью роста таких кристаллов, а сведения о кинетике их роста остаются неопределенными и противоречивыми. Проанализированы существующие представления о диффузионном характере убывающей зависимости скорости роста нитевидных нанокристаллов Si, Ge, GaAs, GaN, InAs и др. от их радиуса. Приведены новые полученные результаты для кинетики роста нитевидных нанокристаллов кремния. Показано, что увеличение скорости роста нанокристаллов с уменьшением их поперечных размеров связано с влиянием не диффузионного, а термодинамического фактора, обуславливающего снижение равновесной растворимости кристаллизуемого вещества в жидкофазных каплях металла-катализатора с увеличением дисперсности катализатора. При этом в качестве лимитирующей стадии выступает стадия кристаллизации на границе кристалл / жидкость под каплей жидкофазного металла-катализатора. Получено уравнение, описывающее зависимость длины нитевидного нанокристалла от радиуса в условиях влияния термодинамического фактора. Даны рекомендации по интенсификации процессов роста нитевидных нанокристаллов полупроводниковых материалов в экзотермическом процессе реакции кристаллизации.